Home Facilities Magnetron sputtering systems
Các hệ thống phún xạ

1. Hệ phún xạ magnetron UNIVEX 450, sản xuất tại Đức, có khả năng chế tạo các loại màng mỏng từ vài nano-met đến vài micro-met bằng phương pháp phún xạ DC vả RF. Áp suất nền tối đa đạt được hiện nay là khoảng 1x10-6 (Torr) với bơm thứ cấp Turbotronic.

turbotronic

Hệ magnetron UNIVEX 450

2. Hệ phún xạ magnetron tự chế tạo, áp suất nền tối đa đạt được hiện nay là khoảng 2x10-6 Torr với hệ thống bơm khuếch tán dầu.

he magnetron tu che tao  Hệ magnetron tự chế tạobang dieu khien he mangetron tu che tao

Bảng điều khiển của hệ magnetron tự chế tạo